گروه مهندسی برق

راه اندازی دستگاه لایه نشانی

دستگاه لایه نشانی به جهت اهداف تحقیقاتی بر روی لایه های نانو در سال 95 خریداری و در آبان 96 راه اندازی گردیده است مجهز به بخش تبخیر حرارتی مقاومتی و بخش تبخیر با اشعه الکترونی می باشد. این سامانه دارای محفظه استوانه ای از جنس استیل 304 با درب بازشونده از جلو می باشد که دسترسی به تمامی قسمت های داخلی محفظه را آسان می سازد.

مسیرهای تخلیه مستفیم ( Roughing ) و پشتی ( BACKING ) به همراه شیر خلا بالای الکتروپنوماتیک و پمپ دیفیوژن با سرعت تخلیه 700 lit/s از جمله دیگر ویژگی های این سامانه ها می باشد . از دیگر امکانات ویژه این دستگاه می توان به  منبع تغذیه جاروب اشعه الکترونی، منبع تغذیه با توان الکتریکی  1.5 کیلووات  و ولتاژ 6 کیلوولت،  ضخامت سنج کریستالی  و شاتر اشاره کرد.

این دستگاه برای  تولید لایه های نانو مورد نیاز دانشجویان ارشد مهندسی الکنرونیک و مهندسی پلیمر می تواند مورد استفاده قرار گیرد.