مشخصات محصول

لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ (کندوپاش)

توضیحات

شرکت سازنده : پوشش های نانو ساختار 

مدل : DST3

DST3، یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ (کندوپاش) بامحفظه شیشه ای قادر است در طی زمان حدود 15 دقیقه با استفاده از دوپمپ روتاری وتوربومولکولار بهفشار حدود TOR 10-6 برسد. این دستگاه مچهز بهسه کاتد مگنترون آبگرد دواینچی بوده وبا دارا بودن منابع تغذیه RFو  DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شاملفلزات (اکسیدی وغیر اکسیدی)، نیمه هادی ها وسرامیکهامی باشد.

کاربرد : تهیه لایه نازک نمونه های فلزی (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمرسانا ونارسانا نمونه هایی که دارای دمای تبخیر بالا بوده (مثل کربن و سیلیکن) با ضخامت کنترل شده در محدوده چند نانو متر تا چند میکرومتر